氮化钛涂层（TiN）作为PVD涂层的一种，是含钛涂层，以其高硬度、高耐磨性和良好的化学稳定性成为应用前景光明的涂层材料，在工模具行业得到广泛应用。并且，氮化钛涂层制备方法也较多，如多弧离子镀、磁控溅射镀膜技术等都可以制备氮化钛涂层。不过，在制备过程中，某些工艺参数会影响氮化钛涂层的性能与质量，需要工作人员注意。下面，小编为大家分享一下哪些因素影响氮化钛涂层性能吧。
一、温度
温度是影响涂层性能优劣的一个重要工艺参数。沉积温度过高，沉积速率过快，涂层组织呈粗大枝状结晶，影响涂层的质量；而沉积温度过低，也容易形成多孔、疏松的沉积物，降低与基体的结合强度。因此，合理选择温度是获得厚度适中、显微组织呈致密柱状结晶的高质量涂层的必要条件。
二、化学成分
TiN涂层中N原子的相对含量对其性能有重要的影响，一般其硬度随x值的增大而增加，韧性随x值的增大而降低。当x<0.56时，其硬度随x值增大而增大；当x>0.56时，硬度则随x值增大而减小；弹性模量在x=0.6时约为610GPa，在x=1时约为540GPa，整体呈下降趋势。在低荷载(10N)时，各组分涂层显示出极好的摩擦学特性，摩擦系数和磨损量均很低，且随组分的变化不大；但随着荷载进一步增大，摩擦系数和磨损量都相应增大，且增大的幅度与涂层组分密切相关，一般随N含量的增加而减少。
氮化钛涂层
三、气体配比
在制备TiN涂层时，反应气体通常用CH4与N2，或者C2H2与N2的混合气体。这两种气体之间的相对比例对TiN涂层性能有一定的影响。随CH4：N2流量比的增大，涂层的硬度增大。随着混合气体中CH4比例的升高，TiCN涂层的硬度提高、耐磨性增强。并且，氮化钛涂层的硬度随着C2 H2:N2的增大而增大，随着比值的进一步增大，硬度又逐渐减小。
四、涂层厚度
TiN涂层厚度对其硬度的影响极大，涂层太薄，在外力作用下涂层容易变形剥落；涂层太厚，则处于高的应力状态，其抗变形、抗剥落能力将会下降，并且涂层容易变脆。通常单一硬质PVD或CVD涂层的厚度在1~10μm之间，多层涂层的单层厚度一般不超过5μm。
在TiN涂层制备过程中，影响涂层厚度的因素是多方面的，如在多弧离子镀制备TiN涂层时，当工件与靶源的距离靠近涂层厚度将增大；随着镀层时间的延长涂层厚度将增大。通常在靶源数量、基体与靶源距离确定的情况下，可通过调整电弧电流及镀层时间来获得一定厚度的涂层。
上述即是哪些因素影响氮化钛涂层性能的相关介绍，可以看出，影响氮化钛涂层性能的因素主要就是温度、化学成分、气体配比以及涂层厚度这四点，在制备涂层过程中要多加注意。
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