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简述真空镀膜机常见故障产生原因及其检测方法有哪些?

作者:admin 浏览量:20 来源:本站 时间:2024-09-25 10:25:28

信息摘要:

真空镀膜是一种先进的涂层技术,具体工作原理是在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于工件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜。主要起到保护工件的作用。该镀膜技术既是真空技术的重要应用体现,也是刀具涂层技术的一大类别。实现真空镀膜的主要设备

 

       真空镀膜是一种先进的涂层技术,具体工作原理是在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于工件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜。主要起到保护工件的作用。该镀膜技术既是真空技术的重要应用体现,也是刀具涂层技术的一大类别。实现真空镀膜的主要设备就是真空镀膜机,真空镀膜机根据不同技术需求可以分为很多种类,主要有真空蒸发镀膜和溅射镀膜两种。但是,在使用过程中,真空镀膜机往往会出现一些故障,为此需要使用者了解故障出现的原因,并进行相应的技术检测,解决故障。下面小编为大家分享一下真空镀膜机常见故障产生原因及其检测方法有哪些的相关知识吧。

 

  一、真空镀膜机常见故障及其原因

 

  1、真空管路或系统内部出现返油现象

 

  当在启动设备的时候,设备的真空管路或者设备中出现返油现象。

 

  原因:这种现象的发生有可能是油蒸汽返流到设备的真空管路或者系统中,还有可能就是油蒸汽压不对、抽气管路的底部用来密封的密封件损坏或者腐蚀。这种现象就需要对设备中的油和器件进行更换以及修理。

 

  2、系统工作时温度过高

 

  正常运行过程中,真空镀膜机应该是恒温状态,但是出现故障时系统工作温度会升高。

 

  原因:出现这种现象的原因有可能是设备的抽气口和排气口连接错误、周围环境的温度达到或者超过油蒸汽压、工作气体的温度过高等等原因。

 

  3、设备工作时泵达不到极限真空度

 

  当使用真空镀膜机镀膜时发现泵达不到极限真空,造成镀膜工作不能正常进行。

 

  原因:出现这种情况的原因有可能是设备的排气管直径小于排气口的直径、系统的主阀出现问题、真空阀或者排气阀出现损坏等等。

 

  4、泵油消耗过多

 

  真空镀膜机运行工作时,泵油出现不正常的高消耗。

 

  原因:泵油的消耗和装油的装置有关,有可能是出油口的密封圈损坏、进油口或者出油口发生泄漏、油封的安装错误等。

 

真空镀膜机常见故障产生原因

  二、真空镀膜机常见故障检测方法

 

  如果镀膜机出现故障后,工作人员首先应该向使用者了解设备出现故障的现象,然后再对故障进行排查以确保更加准确、更加快速以及更加合理的对故障进行排除。

 

  在排除设备的故障时,要对低真空的设备进行检测,检测其是否正常的工作,如果发现低真空设备可以正常的工作,就需要打开镀膜机的主泵进行检查,如果主泵依旧正常的工作,就需要检测下室真空是否正常的工作,然后按照顺序开高阀进行高真空的检查,一直检测到工作真空、极限真空、保真空以及到恢复真空。

 

  以上就是关于真空镀膜机常见故障产生原因及其检测方法的大致内容介绍。通过上文可知,真空镀膜机的故障主要来自于某些零部件的损坏或是安装连接方法不当导致,这就要求使用者掌握相应的检测修理方法,在遇到突发情况时能够正常应对,同时也提醒使用者要选择优质的镀膜设备。


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