真空镀膜系统用途及其制作方法

　　跟着节能减排政策的建议，人们对低辐射镀膜玻璃提出更高的要求。普通用于出产镀膜玻璃的镀膜段出产的产物已经不能满意人们提出的更高要求。大面积磁控溅射镀膜出产线包括很多构成部门，个中焦点区域是镀膜高真空区的工艺部署，即镀膜段。现有技能中存在真空情况差、冷却结果低会严重影响制备的膜层质量。

　　提供一种真空镀膜系统，本系统由真空镀膜系统和真白手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体气氛下举办样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。蒸发镀膜与真白手套箱组合，实现蒸镀、封装、测试等工艺全关闭建造，使整个薄膜发展和器件制备进程高度集成在一个完整的可控情况气氛的系统中，消除有机大面积电路制备进程中大气情况中不不变因素影响，保障了高机能、大面积有机光电器件和电路的制备。

　　真空镀膜系统主要用于太阳能电池钙钛矿、OLED和PLED、半导体制备等尝试研究与应用。